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MEMS

MicroElectroMechanical Systems

Mikromechanische Maschinen, die z.B. als feinste Instrumente bei Operationen eingesetzt werden (sollen). Ebenfalls in kleinsten Displays eine Technologie, die Licht reflektiert oder nicht: Auf der Silizium-Backplane sitzen kleine bewegliche Teilchen, die auf eine durch Spannungsimpulse hervorgerufene elektrostatische Kraft reagieren. DMD von Texas Instruments sind die bekanntesten Vertreter von MEMS.

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